今天小編給大家講講影響等離子清洗機(jī)清洗效果的主要因素：
 

　　(1)功率：等離子體的密度和能量與射頻功率成正比關(guān)系，所以在清洗時(shí)應(yīng)該增大清洗功率從而提高清洗的程度以及清洗的效率，但當(dāng)功率過大，離子溫度會(huì)上升，在高溫條件下金屬基片或其他易被氧化的物質(zhì)會(huì)被氧化從而被破壞，另外不耐高溫零件例如塑料等也會(huì)損壞，因此在清洗之前可以借助模擬合理選擇需要的功率，既要滿足經(jīng)濟(jì)性要求又要保證清洗效果以及清洗的效率。
 

　　(2)時(shí)間：通常在保證清洗效果的同時(shí)需要的時(shí)間越少越好以提高清洗的效率，但所用時(shí)間是與各個(gè)參數(shù)之間相互關(guān)聯(lián)的。一般來說，功率越大，所需要清洗的時(shí)間就會(huì)越短，但相應(yīng)的功耗也會(huì)越大，功率的增大會(huì)使反應(yīng)腔體與零件的溫度升高,同時(shí)也會(huì)造成其他的多種問題，例如零件被破壞、發(fā)生刻蝕等。因此需要不斷摸索清洗時(shí)間、功率、壓力以及氣體種類和配比的關(guān)系選擇一個(gè)佳的清洗工藝。
 

　　(3)溫度：在等離子清洗中，工件溫度會(huì)在離子的轟擊作用下變高，所以工件的溫度會(huì)受到射頻功率和清洗時(shí)間的影響。根據(jù)國內(nèi)外研究表明射頻頻率與溫度成反比:與射頻功率成正比;時(shí)間越長溫度越高。對(duì)于不同材料，溫度有著不同要求，金屬件一般無特殊要求但要注意防止金屬氧化，非金屬如塑料等溫度要低防止變形。
 

　　(4)壓強(qiáng)：真空腔體內(nèi)的壓強(qiáng)在設(shè)備運(yùn)行的過程中主要受漏氣率，充氣及抽氣速度影響。針對(duì)不同的材料以及需要去除的污染物不同，所需壓強(qiáng)也是不同的。當(dāng)充入氬氣、氮?dú)獾确欠磻?yīng)性稀有氣體時(shí)，此時(shí)的清洗主要靠離子的物理轟擊作用，此時(shí)可以通過增大抽速或者減小充氣速度，來保證真空室在較低的壓力，壓強(qiáng)低可以保證離子具有較高的能量轟擊到基片表面以增強(qiáng)清洗效果;但是工作壓力不能過低，當(dāng)壓力太低時(shí)，離子濃度變低沒有足夠的離子轟擊器件表面，也會(huì)影響清洗效果。當(dāng)以化學(xué)清洗為主時(shí)，要適當(dāng)提高清洗時(shí)的工作壓力此時(shí)應(yīng)該是通過增大充氣流量實(shí)施以增大反應(yīng)腔體內(nèi)的反應(yīng)氣體濃度，使較多的離子參與化學(xué)反應(yīng)以保證清洗的效果。
 

　　(5)均勻性：在本真空系統(tǒng)中離子均勻性主要受到氣體流動(dòng)和腔體壓力的影響。反應(yīng)氣體的流動(dòng)性會(huì)直接影響到均勻性，在本系統(tǒng)中主要考量均勻性的設(shè)計(jì)是在充抽氣方面，氣體從真空室前端充入，在真空室中部發(fā)生反應(yīng)，在尾部排出廢氣:壓力也直接影響均勻性，分子的平均自由程隨著壓力的降低而變長，離子所獲得的能量越大且均勻，因此清洗效果越好。